Im 16. Jahrhundert wurden in England und Frankreich die ersten Helmtauchanzüge in Tiefen von bis zu 20 Meter eingesetzt. Als Atemgas wurde per Handpumpe von der Oberfläche Luft zugeführt. Bald wurden die Helme aus Metall gefertigt, sowie größere Tiefen aufgesucht. Diese Helmtauchgeräte waren bereits eine Art Kreislauftauchgeräte, wenngleich ihre Atemgasversorgung rein oberflächengestützt war und CO₂ noch nicht chemisch gebunden, sondern ausschließlich ausgespült wurde.

Giovanni Borelli wollte 1680 ein geschlossenes Atemgerät bauen. Nach seiner Idee sollte die Atemluft durch ein seewassergekühltes Rohr zirkulieren. Er erhoffte sich, dass alle Verunreinigungen an der Innenwandung des Rohres kondensieren und abgetrennt werden können, aber so einfach kann dies nicht funktionieren. Ersetzt man jedoch das Seewasser durch unter (konstantem absoluten) Druck stehenden, flüssigen Stickstoff und hat in diesem einen Tank mit flüssigem Sauerstoff, dessen Gasphase in Verbindung mit dem Atemkreislauf steht, so hat man einen kryogenen Rebreather, der tatsächlich funktioniert. Das CO₂ wird dabei an der Wand des Stickstofftanks, der auch die Temperatur des Sauerstofftanks konstant hält, ausgefroren, der Sauerstoff-Partialdruck wird durch die Gasphase über dem flüssigen Sauerstoff konstant gehalten. Der konstante Stickstoffdruck über dem flüssigen Stickstoff bedeutet eine konstante Siedetemperatur, somit wird auch die Temperatur im Sauerstoffttank und damit der Sauerstoffpartialdruck konstant gehalten.

Stephen Hale setzte 1726 den ersten CO₂-Absorber ein: ein mit Weinstein und Seewasser getränktes Handtuch im Inneren eines Helmes für Grubenrettungsgeräte.

1774 schlug J. F. Zöllner vor, reinen Sauerstoff zum Tauchen zu verwenden.

Ein Schwede namens Scheele entdeckte 1777, dass Bienen in einem geschlossenen Behälter am Leben blieben, wenn man eine Schüssel mit Kalkwasser hineinstellte, die das CO₂ ausfilterte.

1825 hatte William H. James den Einfall, einen Druckbehälter in der Form eines Gürtels am Bauch des Tauchers anzubringen und ihn daraus autonom (ohne Verbindung zur Oberfläche) atmen zu lassen. Er hatte aber keine Idee, wie er den Fülldruck auf Umgebungsdruck hätte reduzieren können.

Regnault und Reiset machten 1847 die Entdeckung, dass Hunde in einer versiegelten Kammer am Leben bleiben, wenn Sauerstoff hinzugefügt und CO₂ entfernt wird.

Im Jahr 1876 begann die eigentliche Geschichte der Kreislaufgeräte. Zwar kann man alle bisherigen Geräte als Rebreather bezeichnen (in diesem Fall Pendelatmer), allerdings wurde bei keinem dieser Geräte das Atemgas durch einen Kreislauf geatmet.

Henry Fleuss, ein deutscher Offizier der englischen Handelsmarine, begann mit der Entwicklung eines Sauerstoff-Kreislauftauchgerätes. Er verwendete kein Mundstück im heutigen Sinne, sondern eine Gummimaske. Der Sauerstofftank bestand aus Kupfer. Als Scrubber verwendete er ein mit einer Ätzkalk-Lösung getränktes Seilknäuel. 1879 testete er sein neues Gerät eine Stunde in einem Wassertank, später tauchte er damit in einer Bucht bis zu 5,5 Meter tief. Henry Fleuss wurde so zum ersten „Scuba-Diver“. Sein Gerät kam 1880 beim Bau des Severn-Eisenbahntunnels zum Einsatz^[1] und wurde später mehrfach eingesetzt, um Minenarbeiter aus überfluteten Tunneln zu retten. Die Weiterentwicklung führte zu einem Gerät, welches 1905 als Rettungsgerät zum Verlassen von Unterseebooten eingesetzt wurde.

Khotinsky und Simon Lake ließen sich 1881 die Verwendung von Bariumhydroxid als Scrubber für Rebreather patentieren.

Siebe Gorman ließ sich 1904 Oxylite patentieren. Dabei handelt es sich um eine Mischung aus KO₂ und Na₂O₂, die Sauerstoff abgibt, wenn sie mit Wasser oder CO₂ reagiert.

Das Drägerwerk stellte 1907 ihren ersten U-Boot-Tauchretter her. Die Firma Dräger entwickelte sich seit ihrer Gründung 1889 bis heute zu einem der marktführenden Kreislauftauchgeräte-Hersteller.

1911 machte Dräger erste Versuche mit einem Kreislauf-Helmtauchgerät.

Bernhard und Heinrich Dräger stellten 1912 den frei tragbaren, schlauchlosen Dräger-Tauchapparat vor. Auf den ersten Blick war es kaum von den üblichen Helmtauchgeräten zu unterscheiden, allerdings fehlte der Luftschlauch. Auch das Rückengewicht fehlte, an dessen Stelle waren zwei Sauerstoffflaschen und der Absorber angebracht.

1913 machte Dräger Tieftauchversuche mit Kreislauf-Tauchgeräten. Am 17. Juli 1913 führt ein 40-minütiger Tauchgang im Tauchturm erfolgreich auf 9 bar (80 Meter).

1914 konstruierte Dräger ein selbstmischendes (Sauerstoff-Luft-)Kreislauftauchgerät für Tauchtiefen bis 40 Meter.

Jacques-Yves Cousteau war einer der ersten, die Sauerstoff-Kreislaufgeräte zum Tauchen einsetzen wollten. Nach zwei Tauchgängen 1938, die beide mit einer Sauerstoffvergiftung endeten, verlor er das Interesse an diesen Tauchgeräten.

Christian Lambertsen erfand 1939 die Lambertsen Amphibious Respiratory Unit (LARU).

Hans Hass entwickelte 1942 mit dem Oberingenieur Hermann Stelzner bei Dräger aus der Gegenlunge das Schwimmtauchgerät. Siebe-Gorman stellte das Salvus ANS-Sauerstoffkreislaufgerät vor, dessen Atemsack auf dem Rücken in Form eines Rucksacks getragen wurde.

Das bekannte IDA-71 erschien 1957: ein teils chemisch dosierendes, umschaltendes Mischgas-Kreislauftauchgerät (CCCR) aus der Sowjetunion.

Das Trimix-Kreislaufgerät IDA-59M wurde 1959 als U-Boot-Retter für Tiefen bis 300 Meter entwickelt.

1968 erschien das erste elektronisch gesteuerte Kreislaufgerät mit automatischer Atemgasmischung. Die ElectroLung wurde im folgenden Conself-Projekt eingesetzt. Einige Todesfälle durch verbrauchten Atemkalk überschatteten die Entwicklung.

1984 stellte Dräger das Tieftauchsystem CCBS für Tauchtiefen bis 600 Meter vor.

Die britische Firma Ambient Pressure Diving brachte 1998 den Inspiration (vormals Buddy Inspiration Rebreather) auf den Markt, einen der derzeit meistgenutzten Rebreather.